微型真空泵是薄膜泵的一种，它的特点是效率高；运动机构与输送介质完全隔离、对介质无污染；非动密封，无泄漏；可靠性好；体积小、重量轻；具有自吸能力；不怕空转；无需润滑保养；自身噪音低。薄膜泵作为微型真空水泵使用时，无需灌泵，既能抽气又能抽水，无水时不怕干转。薄膜泵的优点尤其是无污染性、自吸性使它在仪器仪表行业得到了广泛运用。市场上质量优异的微型真空泵以外国名牌KNF、GAST、THOMAS等和国产“气海”泵为代表。
在使用中微型真空泵的噪声主要来自流体噪声和电机噪声。微型真空泵大量运用于实验、检验和医疗卫生场所，这些场所对噪声控制的要求较严格，除选用性能优良的泵外还可以合理使用消声器。气体管路系统的消声器是通过阻尼或增加排气面积来降低排气速度并消耗能量以降低噪声。常见的消声器有阻性、抗性、阻抗复合型等。工业真空泵排气系统的气流通道截面常具有多次突变的特点，一般采用复合型消声器，壳体、隔板、微穿孔结构采用不锈钢薄板制成。微型真空泵常采用吸收型或膨胀干涉型消声器。技术先进的微型泵生产商为泵配置了专门的消声器。
根据声学原理，当气流通过节流口时，如果上游压力P1、温度T1恒定，下游压力为P2，P2/P1小于声速流临界压力比b时，会出现声速流，P2/P1 > b时，会出现亚声速流。当下游压力P2、温度T2恒定时，P1/P2 > 1/b时会出现声速流，并且流量和流速会线性地随上游压力增大而增大。把微型真空泵作为气泵给下游打气时，微型真空泵出口的压力保持恒定，下游阀门、容器等流道的压力虽有波动，但一般不大可能降低到出现声速流量。微型真空泵的出口向大气排气时，下游压力P2恒定为0.1MPa，可能出现声速或接近声速的流态，气体急剧膨胀与压力剧变，产生较大的噪声。排气噪声与压力、流量和流道截面积等因素有关。消声器的选用主要根据噪声频率范围、气流速度，对一般系统气流速度可取6～10m/s，高压排气则可大于20m/s。消声器的效果按标准规定，公称通径6～25mm时不小于20dB（A），公称通径32～50mm时不小于25dB（A）。通常在排气口设置消声器。
成都“气海”机电公司研发了最先进的长寿命可调速微型泵，有调速真空泵、调速气泵、调速水泵诸多型号。可调速微型泵采用了先进的进口无刷电机，不仅具有寿命长、无杂波干扰、能利用PWM（脉宽调制）线方便可靠调节流量、能输出转速反馈信号等优点，而且电机噪声显著低于原有电机。通过PWM降低电机转速后可以取得非常理想的降噪效果。而且“气海”公司还设计了微型泵专用消声器，运用先进的多重消声原理，压力损失小，降噪效果好。在泵的进、出口都安装专用消声器则效果更佳。
SLS-2012-05
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